天才一秒记住【快眼看书】地址：https://www.nekeye.com
阉割版的出口光刻机，全部采用石英透镜。
石英有良好的光学性能，化学性能也很稳定，光科技运转的时候，能保证紫外光传输稳定。
。
石英透镜技术，早在五十年代就出现了。
鉴于制造技术，石英透镜多为球形或圆柱形，加工简单，能保证加工精度。
实践中。
也有人把石英透镜制造成非球面形状。
用在一些精度需求不高的地方。
光刻机精度要求高。
只有球面和柱形石英透镜才能满足精度要求。
石英透镜技术从五十年代出现，一直用到七十年代，中间有多次改良，改良幅度都不大。
仍然是以球面和柱状为主。
石英透镜制造简单，缺点也“零六零”
十分明显。
首先。
使用石英透镜，容易引起球差、慧差和像散等光学问题，这些问题会造成成像失真，影响光刻机性能。
限制了芯片精度。
同时。
因为石英透镜是球面状的，或者是柱状的，造成焦点深度相对较浅。
焦点深度和清晰成像范围成正比，焦点深度越浅，精细成像范围越小，限制了光刻机的性能。
其次。
石英透镜工艺局限和设计局限，限制了它的最小加工精度。
是用石英透镜，最小精度都是微米级。
除非有革命性的加工工艺进化，或者换一种材质的透镜。
否则。
加工精度突破不了微米。
第三就是加工精度限制。
石英透镜表面是圆形的，或者是援助型的，看起来很圆滑。
实际从微观角度观察，很难做到标准的圆。
肉眼看不出来，因为肉眼的精度有限，可一旦用在光刻机上，精度到微米级别，影响就很大。
会导致成像不稳定，导致光学畸形。
出口的阉割版光刻机，用的都是石英透镜，因为成像不稳定和光学畸形，废品率就会很高。
废品率高。
成本分摊到成品上。
造成芯片的成本普遍偏高。
第三是石英的光学折射率相对较高。
本章未完，请点击下一章继续阅读！若浏览器显示没有新章节了，请尝试点击右上角↗️或右下角↘️的菜单，退出阅读模式即可，谢谢！